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半導體設備零件氧化鋁支撐環
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產品名稱

半導體設備零件氧化鋁支撐環

加工精度 0.01mm
是否定制 可按圖紙定制
粗糙度 0.05μm
材料成分 氧化鋁
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    氧化鋁對準環與支撐環是半導體刻蝕、沉積等制程中的關鍵精密部件,憑借材料本征優勢,正在替代金屬與塑料結構。其首要價值在于超高尺寸穩定性:氧化鋁熱膨脹系數低,且硬度高,經精密磨削后圓度可控制在微米級,確保晶圓在升降溫循環中始終維持精準同心度,有效抑制邊緣偏差導致的良率損失。其次,氧化鋁具有優異的電絕緣與等離子體耐蝕性,擊穿電壓達20 kV以上,對含氟、含氯高能等離子體表現出極佳的化學惰性,可在腔體中穩定工作上千小時,顯著降低顆粒污染與金屬離子析出風險。其熱導率約30-40 W/m·K,能迅速將工藝熱量均勻散開,避免局部熱斑導致的晶圓翹曲。此外,氧化鋁可通過注塑-燒結實現凈成形,后期僅需微量精加工,綜合成本較氮化硅低30%以上,為12英寸乃至更先進制程的規模化應用提供了經濟可行的路徑。

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