精密陶瓷制造商
氮化鋁陶瓷、macor、氧化鋁陶瓷生產(chǎn)加工企業(yè)
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13412856568搜索關(guān)鍵詞： 氮化硅陶瓷加工 氮化鋁陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
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氮化鋁陶瓷憑借 “高導(dǎo)熱、強(qiáng)絕緣、熱匹配性優(yōu)” 的核心特質(zhì)，成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中多類關(guān)鍵功能材料的優(yōu)選，其應(yīng)用貫穿晶圓制造到器件封裝全鏈條。?
首先是半導(dǎo)體制造核心部件材料。在刻蝕、化學(xué)氣相沉積等工藝中，氮化鋁陶瓷是靜電卡盤介電層的理想材料，其熱導(dǎo)率可達(dá) 170-230W/(m?K)，能快速傳導(dǎo)晶圓加工熱量，配合與硅晶圓接近的熱膨脹系數(shù)（約 4.5×10??/℃），大幅降低熱應(yīng)力導(dǎo)致的晶圓破裂風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)，它也是陶瓷加熱器的核心基材，可實(shí)現(xiàn)晶圓均勻加熱，保障薄膜沉積等工藝的溫度精度。?
其次是高性能封裝與散熱材料。在功率半導(dǎo)體領(lǐng)域，氮化鋁陶瓷基板是 IGBT、SiC MOSFET 等模塊的關(guān)鍵散熱載體，升級(jí)版產(chǎn)品熱導(dǎo)率超 200W/(m?K)，能將芯片溫度從 120℃降至 65℃，散熱效率較傳統(tǒng)氧化鋁基板提升 4 倍。針對(duì) 7nm 等先進(jìn)制程芯片，通過 3D 打印制成的氮化鋁基板可集成 0.3mm 級(jí)微通道，進(jìn)一步強(qiáng)化散熱能力。?
此外還是高頻器件支撐材料。其介電常數(shù)僅 8.5-9.5，介電損耗小于 0.001，在半導(dǎo)體高頻通信模塊中可作為濾波器、射頻器件基板，在 30GHz 頻段下插入損耗僅 0.2dB，遠(yuǎn)優(yōu)于金屬材料，同時(shí)兼具耐腐蝕與耐高溫性，適配半導(dǎo)體制造的復(fù)雜化學(xué)環(huán)境。?
從制造到封裝，氮化鋁陶瓷以多形態(tài)材料角色，為半導(dǎo)體設(shè)備穩(wěn)定性與器件性能提供核心支撐。
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