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碳化硅陶瓷承載盤
  • 碳化硅陶瓷承載盤
產品名稱

碳化硅陶瓷承載盤

加工精度 0.01mm
是否定制 來圖定制加工
粗糙度 Ra0.05
材料成分 碳化硅陶瓷
我要定制 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀!
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    碳化硅陶瓷承載盤是半導體與光伏行業的核心承載部件,憑借材料特性滿足高精度生產需求。其硬度高達莫氏9.2級,耐磨性強,長期承載晶圓或硅片時表面不易磨損,使用壽命是金屬承載盤的5-10倍。 碳化硅導熱率達100-200W/(m·K),能快速均勻散熱,避免加工中局部高溫導致的工件損壞。熱膨脹系數與硅材料接近,減少熱應力引發的形變,鈞杰陶瓷保障加工精度。 經精密加工,承載盤表面粗糙度達Ra≤0.05μm,平面度誤差≤5μm/m,配合微結構設計實現穩定承載。其耐等離子體腐蝕、抗化學侵蝕,適配蝕刻、沉積等工藝環境,為量產的穩定性與良率提供可靠支撐。

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